PEMCH 提供大量高精度的电压/电流传感器,可精确控制电流,以及精细分辨率,广泛应用于精密运动控制领域。

1. Danisense高精度电流传感器在半导体光刻行业的应用

 

由于光刻相机的性能能直接决定现代半导体制造的工艺水平(譬如:28nm,14nm,10nm),其中扫描步进器中的核心技术是在曝光时移动“物体”和“膜”,为了实现精确控制,实现更高的工艺水平,位置和运动控制是至关重要的。而运动控制是通过测量致动线圈中的驱动电流来实现;

Danisense超高精度直流电流传感器,可提供所需的电流精度和差分线性度,实现其驱动电流的精准控制,Danisense多年来一直生产高性能传感器,为了实现所需的精度性能,Danisense的DS系列电流传感器不使用霍尔元件,而是基于Fluxgate技术,采用高非线性的无源元件,实现线圈磁通量的高灵敏检测,且Danisense已经使用了多年的成熟技术。这是一个被证明的高技术在几个Danisense电流和电压传感器系列的核心。Danisense的DS系列零磁通高精度电流传感器具有普遍 ppm(百万分之一)的线性度。

2. 机器人的运动控制

众所周知,机器人需要采用大量的物理量传感器,因而机器人的自能程度和完成度很大的因素取决于传感器的性能。PEMCH提供大量的高精度电流传感器,以及Hall电流传感器芯片集成于机器人的运动控制。